１．広い観察範囲と高い垂直方向分解能　　

２．ISO国際標準準拠の表面粗さ測定

VS1000シリーズは、表面粗さの評価方法を定めた国際規格であるISO25178表面性状（面粗さ測定）

に準拠しています。「非接触式」と「接触式」の2つの評価方法に対応した規格です。

線粗さ測定では、測定箇所や走査方向による結果のバラツキが生じますが、「白色干渉方式」は

これらの問題が生じない評価方法とされています。

VS1000シリーズは、面での粗さ評価を容易にします。

 ３．非接触での層断面解析機能

透明で積層されたサンプルにおいて、断面を形成する手間を掛けずに、非破壊で断面の情報を得ること

が可能です。

レンズの高さ座標と各界面から得られた反射光を利用し、各光学界面において得られた干渉縞から、

仮想切断面としての断面画像を出力します。

透明多層膜では、表面・境界面・裏面で干渉膜が現れる　　プラスチックのハードコート（2層）

４．複数視野測定機能

指定された複数座標ポイントの連続自動測定やスティッチング測定または、等間隔測定を行う機能

です。（自動ステージ＋VS-Measure）任意測定ポイント最大10000ポイントまで測定可能です。

スティッチング測定の例

1視野に収まらない対象物を連続自動測定でデータを取得し、複数のデータを1枚のデータとして

画像連結を行うことで、広範囲の解析が可能になります。

◆応用例

◆仕様

 VS1330

　　　　Z軸方向駆動方式    ピエゾ駆動80μm

　　　　ステージ　　　　　X-Y手動ステージ（X:150mm、Y:130mm）