この映像はスピンコーターの挙動を撮影したものです。スピンコーターは、平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する装置で、半導体製造工程において広範囲に使用されています。また、身近な所では、DVDなどの光学メディア製造の際に、保護膜生成用に使われています。なかなか見る機会が無い映像かと思いますので、この機会に是非ご覧下さい。
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精密・微小現象 スピンコータ |
※映像をご覧になるには WindowsMediaPlayer が必要です。
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この映像はスピンコーターの挙動を撮影したものです。スピンコーターは、平滑な基材を高速回転させる事により遠心力で薄膜を構成する装置で、半導体製造工程において広範囲に使用されています。また、身近な所では、DVDなどの光学メディア製造の際に、保護膜生成用に使われています。なかなか見る機会が無い映像かと思いますので、この機会に是非ご覧下さい。
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