微小線幅測定システムの特長
微小線幅測定システム VP-5LW |
Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型AF画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。
製品仕様
製品名 |
微小線幅測定システム VP-5LW
|
デジタル画像測定機 | 測定内容:線幅、円径 |
測定再現性 | 3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定) |
最小表示 | 0.001μm |
線幅エッジ検出 | ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能 |
校正値 | レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能 |
データ出力 | 測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能 |
OS、CPU | Windows10 professional 64bit/インテル Core i7 プロセッサー |
オートフォーカス機能 | デジタルカメラの映像信号の画像処理方式 |
合焦精度 | 対物レンズの焦点深度の約1/3以内 |
AF検出位置 | 映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能 |
Z軸制御 | 5相ステッピングモーター(標準) |
Z軸分解能 | 0.01μm(組み合わせるステージによる) |
製品の特徴
- 1.300万画素高精細カメラで高精度測定
- 半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。
- 2.取り付け簡単、システムアップ!
- ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。
- 3.線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能
- 4.傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。
- 5.簡単操作、高精度AF機能を標準装備
- 高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。
用途例
1.液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
2.半導体ウェハ-の約1μmまでの線幅測定
3.TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
4.ガラスマスクの線幅測定
5.電子部品の各部測定
精度、システム構成
測定精度
対物レンズ |
映像視野(μm) |
1画素分解能(μm) |
繰返し制度3σ(μm) |
100倍 |
約70×53 |
約0.0345 |
0.01 |
50倍 |
約139×106 |
約0.069 |
0.02 |
20倍 |
約348×265 |
約0.1725 |
0.05 |
10倍 |
約696×530 |
約0.345 |
0.10 |
5倍 |
約1,391×1,060 |
約0.69 |
0.20 |
※繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なる場合があります)
※数値は300万画素モノクロCCDカメラMAR-300Bで測定したものです。
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。 |
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微小線幅測定システムに関するお問合せ
出展企業情報
- 企業名
- 株式会社フローベル
- 企業PR
- "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、 顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、 他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。 近年では超高感度カメラを開発し、 第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。 フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、 引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、 ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として 監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で 社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"
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