走査電子顕微鏡の特長
キーポイント1 Zeromag ~広視野の光学CCD画像とSEM像をBorderlessにつなぐ~
高倍率観察までスムーズに!
光学CCD画像とSEM画像の境界を意識せず、Borderless に操作できるため、作業効率が大幅に向上します。
Zeromagから広範囲の観察とEDS分析が簡単に自動で行えます。
Zeromag上でモンタージュ設定
モンタージュ結果4×4 (左:反射電子組成像 右:Ca元素マップ)
試料:コンクリート加速電圧:15kV
高真空モード撮影範囲:約4mm×3mm
Zeromagにより、全体像が把握できる広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。モンタージュは破面解析や広領域の異物の把握など、広い領域に対して細かい情報が必要なときに便利な機能です。
キーポイント2 Live Analysis ~SEMとEDSをBorderlessにつなぐ~
Live Analysisは、観察している領域のEDS分析を常に観察画面上で行う機能です。
予期しない元素や注目元素を「見つける」「気づける」確率の向上が期待できます。
①元素表示測定視野中に存在する主元素を表示します。元素を指定してアラートを表示することもできます。
キーポイント3 データ一元管理ソフト SMILE VIEW ~レポート作成もBorderless~
SMILE VIEW™ Labは、ステージ位置に連動したCCD画像、SEM画像、EDS分析結果等のデータを一元管理し、短時間でレポートを作成できるデータマネージャーです。 過去に取得したデータの見直しや再解析、レポートへの展開も簡単に行うことができます。
仕様
分解能 |
高真空モード:3nm(30kV)、15nm(1kV) 低真空モード*1:4nm(30kV BED) |
写真倍率 表示倍率 |
×5 ~ ×300,000 (画像サイズ128mm×96mmにて) ×14 ~ ×839,724 (モニタ上 358mm×269mmを表示サイズとして) |
加速電圧 |
0.3 ~ 30kV |
低真空圧力 *1 |
10 ~ 650Pa |
最大試料寸法 |
200 mm径×75 mm高さ |
試料ステージ |
大形ユーセントリック式 |
*1:低真空、反射電子検出器(BED)オプション時
走査電子顕微鏡に関するお問合せ
出展企業情報
- 企業名
- 日本電子株式会社
- 企業PR
- 高級精密理科学機器(電子光学機器・分析機器)、計測検査機器、半導体関連機器、産業機器、医用機器の製造 ・ 販売 ・ 開発研究、およびそれに附帯する製品 ・ 部品の加工委託、保守 ・ サービス、周辺機器の仕入 ・ 販売
【菊水電子工業】新製品:双方向大容量直流電源 PXBシリーズが2023年4月7日より販売開始されました!
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