走査電子顕微鏡 (JSM-IT500)
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基本情報
試料セットからレポート作成まで、分析業務のためのソフトが一つになって作業スピードがアップ！ 操作もさらに容易になった Borderless SEM です。
■視野探しを容易にするZeromag
■観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis
■データを一元管理できるSMILE VIEW Lab
■安全・簡単！ 試料交換ナビ
（代理店：日本電計㈱と共同出展）
- 型番
- JSM-IT500
- 価格
- 20,000,000円～
- 発売日
- 2017年3月発売
走査電子顕微鏡の特長
キーポイント1 Zeromag ～広視野の光学CCD画像とSEM像をBorderlessにつなぐ～
高倍率観察までスムーズに！
光学CCD画像とSEM画像の境界を意識せず、Borderless に操作できるため、作業効率が大幅に向上します。
Zeromagから広範囲の観察とEDS分析が簡単に自動で行えます。
Zeromag上でモンタージュ設定
モンタージュ結果4×4 （左：反射電子組成像 右：Ca元素マップ）
試料：コンクリート加速電圧：15kV
高真空モード撮影範囲：約4mm×3mm
Zeromagにより、全体像が把握できる広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。モンタージュは破面解析や広領域の異物の把握など、広い領域に対して細かい情報が必要なときに便利な機能です。
キーポイント2 Live Analysis ～SEMとEDSをBorderlessにつなぐ～
Live Analysisは、観察している領域のEDS分析を常に観察画面上で行う機能です。
予期しない元素や注目元素を「見つける」「気づける」確率の向上が期待できます。
①元素表示測定視野中に存在する主元素を表示します。元素を指定してアラートを表示することもできます。
キーポイント3 データ一元管理ソフト SMILE VIEW ～レポート作成もBorderless～
SMILE VIEW™ Labは、ステージ位置に連動したCCD画像、SEM画像、EDS分析結果等のデータを一元管理し、短時間でレポートを作成できるデータマネージャーです。 過去に取得したデータの見直しや再解析、レポートへの展開も簡単に行うことができます。
仕様
| 分解能 |
高真空モード：3nm（30kV）、15nm(1kV) 低真空モード*1：4nm（30kV BED) |
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写真倍率 表示倍率 |
×5 ～ ×300,000 （画像サイズ128mm×96mmにて） ×14 ～ ×839,724 （モニタ上 358mm×269mmを表示サイズとして） |
| 加速電圧 |
0.3 ～ 30kV |
| 低真空圧力 *1 |
10 ～ 650Pa |
| 最大試料寸法 |
200 mm径×75 mm高さ |
| 試料ステージ |
大形ユーセントリック式 |
*１：低真空、反射電子検出器（BED）オプション時
走査電子顕微鏡に関するお問合せ
出展企業情報
- 企業名
- 日本電子株式会社
- 企業PR
- 高級精密理科学機器（電子光学機器・分析機器）、計測検査機器、半導体関連機器、産業機器、医用機器の製造 ・ 販売 ・ 開発研究、およびそれに附帯する製品 ・ 部品の加工委託、保守 ・ サービス、周辺機器の仕入 ・ 販売
静電気の放電現象、誘導雷、自動車内の開閉器やモータ等の過渡現象、電磁界やノイズの可視化装置など、トータルソリューションをご提案
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