１．DSOI（デュアル・サイド-オン・インターフェース）



DSOIは垂直プラズマトーチを使用するダイレクトのラジアル（横方向）測光の新技術です。デュアル

の光学インターフェースを使用し、通常の横方向の測光だけでなく、追加した一個のミラーによって、

プラズマの両側から放出された光を同時に捉えることができるので感度が向上します。

DSOIは、ラジアル測光の2倍の感度を得られるだけでなく、垂直デュアル測光方式の複雑さ、弱点、

コストの問題点を解決しました。

また、ニーズに応じてシングルのラジアル仕様の選択も可能です。

2．ORCA：パッシェン-ルンゲ分光器



ダブルマウントのパッシェンルンゲ光学系を採用しており、広い波長範囲をカバーするだけでなく中間

の光学素子を最小限に設計することで光の減衰や迷光を抑えます。波長範囲165 nm～770 nm の分析

が可能です。複数のCMOS検出器をローランド円上に連続的に並べることで、分光された全波長を同時

検出します。新GigE読み出しシステムにより、スペクトル処理と転送速度が大幅に向上し、分析速度

が速くなり、サンプル間の時間が短くなり、1時間あたりの測定数を増加できます。

３．低いランニングコスト

UV波長域での測定に対応した分光器は新しい微少量ガスパージを標準としています。また、オプショ

ンのUV-PLUSはパージが不要です。さらに、最新の空冷テクノロジーによって水冷が不要であり、高

価な循環冷却水装置（チラー）のメンテナンスも不要です。

４．LDMOS 最大出力1700Wの高周波電源

GREENの27.12 MHzのRFジェネレータはタフな電源を実現するLDMOSパワー半導体によってパワフ

ルで長時間の安定性に優れています。

５．新ICP Analyzer Proソフトウェア

SPECTROGREEN　仕様

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