6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システムの特長

用途

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、
貫通穴の表裏位置ずれ計測

■表裏画像の重ね合わせ表示、計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

機能

マークのエッジから中心座標を自
動検出し高精度にずれ測定が可能

測定対象をセンタリング制御
しステージ移動誤差を解消

ワークをひっくり返す手間無く
表裏の微小線幅寸法測定も可能
（オプション）

• ●ソフト、サンプルホルダーなどのカスタマイズ対応
  
  ワーク名、ロットナンバー情報などの入力、 特殊マーク形状、パターン形状の自動測定、 位置ずれ、寸法以外の測定内容、 測定結果の出力方法など、 ソフトウェアのカスタマイズは、ご相談下さい。 お客様のワーク形状や材料に合わせたサンプルホルダ ーの製作もご相談下さい。
  
  ●縦型液晶２画面表示イメージ
• 

6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システムに関するお問合せ

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出展企業情報

企業名

株式会社フローベル

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"人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、 顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、 他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。 近年では超高感度カメラを開発し、 第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。 フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、 引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、 ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として 監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で 社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"