【ニコン】CNC画像測定システムの特長
1.高スループット
「NEXIV VMZ-S3020」は、高精度リニアエンコーダと精密動作ステージによる高い測定精度を発揮しながら、ステージ移動と画像処理の高速化により、従来機種「NEXIV VMZ-R」シリーズと比べて更なる高スループット化を実現。お客様から定評があった精度や再現性を損なわずに、測定タクトタイムの短縮を可能にしました。
2. 高品質画像、高精度測定
歪みがない高品質画像により、視野内の中心付近でなくても信頼性の高い測定結果が得られます。
また、被検物の形状に応じて垂直落射照明、透過照明、8分割リング照明の選択や、光量・照射方向を最適化することにより、検出の難しいエッジもシャープに捉えることができます。さらに、1000点/秒の高速レーザースキャンにより、被検物の断面形状を取得、高さ方向の形状評価にも対応します。多種多様な部品の測定ニーズに応えます。
3. 優れたユーザビリティ
シリーズ共通の寸法測定ソフトウエア「NEXIV AutoMeasure」により、快適かつ効率的に寸法測定を行えます。また、単純形状を対象に、測定プログラムの作成工程の一部を自動化する機能を追加しました。
さらに、ステージや測定ヘッドの移動を操作するジョイスティックユニットは、NEXIVシリーズをご使用のお客様の要望に応え、より使いやすいデザインに一新しました。
測定対象
パッケージ、プリント基板、プレス部品、プローブカード、コネクタ、高密度基板
測定例
コネクタ | プラスチックギヤ | PGA |
NEXIV VMZ-S3020 仕様
本体部 | ||
---|---|---|
ストローク(X×Y×Z) | 300×200×200mm | |
最小表示単位 | 0.01μm | |
被検物最大質量 | 20kg | |
測定精度 | ||
EUX,MPE EUY,MPE | 1.2 + 4L/1000 μm | |
MPE PF2D
MPE PFV2D
|
最大許容プロービング誤差 1),2) 0.8 μm, 0.3 μm 最大許容プローブプロービング誤差 1),2) |
|
レーザー繰り返し精度1),3) | 2 σ≦0.5 μm | |
カメラ |
白黒1/3型CMOS カラー1/3型CMOS |
|
作動距離 | 50mm( Type1 ~ 3 )30㎜( type4)高倍:11 mm/低倍:32 mm( typeTZ)73.5 mm(レーザーAF部63 mm) | |
倍率/視野 | ||
タイプ1 |
光学倍率 0.5~7.5× 総合倍率 18~270× 視野 9.33×7.01~0.622×0.467mm |
|
タイプ2 |
光学倍率 1~15× 総合倍率 36~540× 視野 4.7×3.5~0.311×0.233mm |
|
タイプ3 |
光学倍率 2~30× 総合倍率 72~1080× 視野 2.33×1.75~0.155×0.117mm |
|
オートフォーカス | TTLレーザAF/イメージAF | |
照明 |
タイプ1~4:垂直落射、透過、8分割リング照明 (全系統白色LED光源/タイプ1, 2, 3は3角度、タイプ4は1角度) タイプTZ:垂直落射、透過(VMZ-S3020の低倍側を除く)、暗視野照明 タイプA:垂直落射、透過、8分割リング照明(全系統白色LED光源/1角度) |
|
供給電源 | AC100 V-240 V、50/60 Hz | |
消費電流 |
4A - 2A |
|
寸法(W×D×H)/質量 | ||
本体+測定台 | 700 x 730 x 1793 mm / 約265 kg | |
コントローラ | 190 x 450 x 450 mm / 12kg | |
設置寸法(W×D) | 2100×1100mm |
1)自社が定めた評価方法による
2)Type2ヘッド 15倍時
3)サンプル:キャリブレーションプレートのクロム面。TypeAヘッドを除く
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出展企業情報
- 企業名
- 株式会社ニコンインステック
- 企業PR
- ニコンソリューションズは、JCM-6000をはじめとする顕微鏡、測定機、理化学機器などの 販売を通じて、お客様の研究開発・品質管理にベストソリューションをお届けします。 ニコンインステックは、2020年10月1日よりニコンソリューションズに社名変更致しました。
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