USB簡易型膜厚測定装置 (Handy Lambda Ⅲ Thickness)

株式会社スペクトラ・コープ|最終更新日:2024/05/31

基本情報

USB簡易型膜厚測定装置
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非接触の光学系で、分光反射率から薄膜の膜厚を測定します。

光を透明または半透明膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、サンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。 アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。

型番
Handy Lambda Ⅲ Thickness
価格
2,500,000円~
発売日
発売中
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USB簡易型膜厚測定装置の特長

USB簡易型膜厚測定装置 (Handy Lambda Ⅲ Thickness)

USB簡易型膜厚測定装置 (Handy Lambda Ⅱ Thickness)

各モデル製品仕様  膜厚測定ソフトウエア  測定サンプル  

各モデル製品仕様

モデル
Handy Lambda Ⅲ Thickness
Solid Lambda Thickness
測定膜厚範囲
300nm-20μm
300nm-100μm
内蔵光源
3Wハロゲン光源内蔵
3Wハロゲン光源内蔵
膜厚表示分解能
0.001μm
0.001μm
測定再現性
0.01μm以下
0.01μm以下
インターフェース
USB2.0
USB2.0
税込価格
¥ 1,680,000~
¥ 2,310,000~
本体価格
¥ 1,600,000~
¥ 2,200,000~

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膜厚測定ソフトウエア

Thickness Viewer

最小300nm~最大100μmまでの各種透明膜の厚みを高速で簡便に測定

光学測定における膜厚測定は、ハロゲン光を照射してその反射や透過のスペクトルの波長帯域干渉を応用して、再現性良く膜厚を測定致します。そして、その再現性精度は、0.01um以下を誇ります。

また、サンプル測定においてXY自動ステージやトラバースを装置仕様に追加した場合は、厚みムラをビジュアル化した3D測定機能も追加出来ます。搬送機の中でのインライン使用の場合は、他周辺機器との通信の行えるように設計されており、その拡張性は多くのお客様のご支持を頂いております。

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測定サンプル

測定可能サンプル

測定不可能サンプル

1)フィルム
2)シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン
3)接着剤、コーティング剤
4)色素膜、油膜、カラーフィルター膜
5)空気層
6)フォトレジスト
7)酸化チタン
8)誘電体膜、金属酸化膜
9)UV硬化樹脂
10)ガリウム砒素
11)CD、MD、DVD
12)ポリマー
1)塗装膜
2)金属膜

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 お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。

USB簡易型膜厚測定装置に関するお問合せ

製品やサービスに関するお問い合わせやご相談は、下記のフォームをご利用下さい。後日、ご要望に応じてご連絡を差し上げます。

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企業名
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