飛行時間型二次イオン質量分析法
飛行時間型二次イオン質量分析法。超高真空下で試料に一次イオンを照射すると、資料の極表面（１～3nm）から二次イオンが放出される。二次イオンを飛行時間型（TOF型）質量分析計へ導入することで、試料最表面の質量スペクトルが得られる。この際に一次イオン照射量を低く抑えることにより、表面成分を化学構造を保った分子イオンや部分的に開裂したフラグメントイオンとして検出することができ、最表面の元素組成や化学構造の情報が得られる。TOF-SIMSとも呼ばれる
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