微小線幅測定システム (VP-5LW)

株式会社フローベル｜最終更新日：2024/11/08

基本情報

オールインワン型ＡＦ画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器

Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型ＡＦ画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。

型番: VP-5LW

価格: お問合せ下さい

発売日: 発売中

微小線幅測定システムの特長

微小線幅測定システム

VP-５LW

　製品仕様
　製品の特徴
　用途例
　精度、システム構成

製品仕様

製品名	微小線幅測定システム　VP-5LW
デジタル画像測定機	測定内容：線幅、円径
測定再現性	3σ=0.01μm（対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定）
最小表示	0.001μm
線幅エッジ検出	ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値	レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
データ出力	測定結果のCSVデータ、測定結果画像（BMP/JPG）の保存が可能
OS、CPU	Windows10 professional 64bit／インテル Core i7 プロセッサー
オートフォーカス機能	デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
合焦精度	対物レンズの焦点深度の約1/3以内
ＡＦ検出位置	映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
Ｚ軸制御	5相ステッピングモーター（標準）
Ｚ軸分解能	0.01μm（組み合わせるステージによる）

製品の特徴

１．300万画素高精細カメラで高精度測定
半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。

２．取り付け簡単、システムアップ！
ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。

３．線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能

４．傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。

５．簡単操作、高精度AF機能を標準装備
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。

用途例

１．液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
２．半導体ウェハ－の約1μmまでの線幅測定
３．TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
４．ガラスマスクの線幅測定
５．電子部品の各部測定

精度、システム構成

測定精度

対物レンズ	映像視野（μm）	1画素分解能（μm）	繰返し制度3σ（μm）
100倍	約70×53	約0.0345	0.01
50倍	約139×106	約0.069	0.02
20倍	約348×265	約0.1725	0.05
10倍	約696×530	約0.345	0.10
5倍	約1,391×1,060	約0.69	0.20

※繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。（サンプルの条件により上記と異なる場合があります）
※数値は300万画素モノクロCCDカメラMAR-300Bで測定したものです。

　お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。

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微小線幅測定システム（3.33 MB）

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出展企業情報

企業名: 株式会社フローベル
企業PR: "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。近年では超高感度カメラを開発し、第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"