8インチXY電動ステージ制　両面顕微鏡計測システム (TOMOS-80XY)

株式会社フローベル｜最終更新日：2024/11/08

基本情報

ウエハー表裏面のアライメントマークの自動検査システム

◆指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、ＭＥＭＳ、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。 ◆ＸＹステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御するセンタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。

型番: TOMOS-80XY

価格: お問合せ下さい

発売日: 2024年11月

8インチXY電動ステージ制　両面顕微鏡計測システムの特長

・XY電動ステージ制御

・自動計測ソフトも対応可能

・オートフォーカスユニット搭載

・他、画像処理、計測機能もカスタマイズ可能

・ウエハー自動搬送機機能もオプションで対応可能

8インチXY電動ステージ制　両面顕微鏡計測システムに関するお問合せ

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出展企業情報

企業名: 株式会社フローベル
企業PR: "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。近年では超高感度カメラを開発し、第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"