三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 (ERA-600　および　ERA-600FE)

基本情報

高精度・高分解能表面形状測定機の決定版。高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能！精密工学会技術賞を受賞。

三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータが得られます。独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、微細な表面形状を確実に捕らえます。

・三次元鳥瞰図・等高線図・JIS規格、ISO規格の表面性状パラメータが得られます。
　
・これらのSEM画面、三次元測定データ等を、Windows対応のファイルサーバーソフトウエアとリンクさせる事に

より、効率的にデータ管理できます。これにより論文、報告書の作成効率も格段に高まります。

世界唯一、４本の二次電子検出器搭載による立体感画像

・凹凸感の曖昧な通常のSEM像とは異なり、確実に凹凸の判断ができる
　独自の凹凸二次電子像、また、組成コントラストを強調した二次電子像
　など、試料から様々な情報が得られます。
　さらに、EDS、EBSD、CLなどのオプションも搭載可能です。

縦方向・横方向ともに高い分解能

・独自の二次電子信号処理技術により縦方向、横方向ともに分解能が高く、
　微細な表面形状を確実に捕らえます。

高い操作性

・使いやすい日本語メニュー・マウス操作でのオペレーション。
　
・オート機能を搭載し、簡単な操作を実現しました。また積分ユニットの採用により、リアルタイムで鮮明な静止画像が
　得られ、明るい部屋の中での観察、測定が可能です。

試料へのダメージが低い

・電子プローブで試料表面を高速にスキャンし測定するため、試料表面を傷つける事はありません。
　
・照射電流量も10pA以下と極めて小さくビームダメージに弱いサンプルも測定する事が出来ます。

高いメンテナンス性

・電子銃、電源等の自己診断機能を搭載しています。

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企業名: 株式会社エリオニクス
企業PR: エリオニクスは、1975年の創立以来、常に最先端の科学技術の進歩に貢献する装置作りを目指して、ナノテクノロジーの研究開発用装置を世に送り出してきました。電子ビーム描画装置では、1997年に、当時の最高スペックを1/5にした線幅10nmを描ける超高精細電子線描画装置を開発、その後も次々に世界最高性能の装置を開発してきました。 2つのCS「Challenge　and　Speed」「Customer　Satisfaction」を基本姿勢として、常に他社に先駆けた装置開発を行っており、それが現在までナノテク研究用装置メーカーとしてトップランナーであり続けられた理由であると考えております。研究開発用装置は日本国内及び、世界の大学・公的機関などにも導入され、高い評価を受けておりますが、今後は研究開発から事業化に向けた生産用装置の開発・販売にも注力してまいります。私たちはこれからも世界中の皆様の課題解決のパートナーとして、最高性能の装置、最高の顧客満足を提供する世界ブランドの企業を目指してまいります。