3D MEMS用振動・変位解析装置 (MEMSMap 510)

有限会社シスコム|最終更新日:2024/11/13

基本情報

3D MEMS用振動・変位解析装置
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水晶振動子、圧電素子等の面外及び面内振動を1nmレベルから検出可能。高周波数240MHzまで対応。位相情報も含めてリアルタイムで確認も可能。

MEMSMap510は微小測定物(0.1mm以上)の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。 測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレンスレーザーとの間で干渉縞が作成され、その干渉縞を高精度の顕微鏡レンズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込みます。

型番
MEMSMap 510
価格
オープン価格
発売日
発売中
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3D MEMS用振動・変位解析装置の特長

リアルタイムモード

振動と変形量を測定物イメージ上にフリンジパターン(等高線図)でオーバーラップさせて表示するモード。周波数をスウィープすることにより共振点の振動モードを容易に観察することができます。 

位相変調モード

振動モード、変位モードをアニメーションや3Dプロットで表示することができるので、非常に優れた定量的および定性的な振動・変位解析を行うことができます。

3D MEMS用振動・変位解析装置に関するお問合せ

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