オールインワン型ＡＦ画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器
Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型ＡＦ画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。
株式会社フローベル 微小線幅測定システム (VP-5LW)
微小線幅測定システムの特長
微小線幅測定システム
VP-５LW
Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型ＡＦ画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。
製品仕様
製品名 微小線幅測定システム VP-5LW デジタル画像測定機 測定内容：線幅、円径 測定再現性 3σ=0.01μm（対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定） 最小表示 0.001μm 線幅エッジ検出 ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能 校正値 レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能 データ出力 測定結果のCSVデータ、測定結果画像（BMP/JPG）の保存が可能 OS、CPU Windows10 professional 64bit／インテル Core i7 プロセッサー オートフォーカス機能 デジタルカメラの映像信号の画像処理方式 合焦精度 対物レンズの焦点深度の約1/3以内 ＡＦ検出位置 映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能 Ｚ軸制御 5相ステッピングモーター（標準） Ｚ軸分解能 0.01μm（組み合わせるステージによる）
製品の特徴
- １．300万画素高精細カメラで高精度測定
- 半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。
-
- ２．取り付け簡単、システムアップ！
- ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。
-
- ３．線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能
- ４．傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。
- ５．簡単操作、高精度AF機能を標準装備
- 高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。
用途例
１．液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
２．半導体ウェハ－の約1μmまでの線幅測定
３．TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
４．ガラスマスクの線幅測定
５．電子部品の各部測定
精度、システム構成
測定精度
対物レンズ
映像視野（μm）
1画素分解能（μm）
繰返し制度3σ（μm）
100倍
約70×53
約0.0345
0.01
50倍
約139×106
約0.069
0.02
20倍
約348×265
約0.1725
0.05
10倍
約696×530
約0.345
0.10
5倍
約1,391×1,060
約0.69
0.20
※繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。（サンプルの条件により上記と異なる場合があります）
※数値は300万画素モノクロCCDカメラMAR-300Bで測定したものです。
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。
| 微小線幅測定システム VP-５LW
|
Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型ＡＦ画像処理ユニットと300万画素高精細モノクロカメラを組み合わせた簡単操作、低価格の微小線幅測定器です。
製品仕様
| 製品名 | 微小線幅測定システム VP-5LW |
| デジタル画像測定機 | 測定内容：線幅、円径 |
| 測定再現性 | 3σ=0.01μm（対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定） |
| 最小表示 | 0.001μm |
| 線幅エッジ検出 | ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能 |
| 校正値 | レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能 |
| データ出力 | 測定結果のCSVデータ、測定結果画像（BMP/JPG）の保存が可能 |
| OS、CPU | Windows10 professional 64bit／インテル Core i7 プロセッサー |
| オートフォーカス機能 | デジタルカメラの映像信号の画像処理方式 |
| 合焦精度 | 対物レンズの焦点深度の約1/3以内 |
| ＡＦ検出位置 | 映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能 |
| Ｚ軸制御 | 5相ステッピングモーター（標準） |
| Ｚ軸分解能 | 0.01μm（組み合わせるステージによる） |
製品の特徴
- １．300万画素高精細カメラで高精度測定
- 半導体ウェハ、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定。
- ２．取り付け簡単、システムアップ！
- ご使用の顕微鏡に取り付けて、線幅測定機にシステムアップができます。
- ３．線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能
- ４．傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能。
- ５．簡単操作、高精度AF機能を標準装備
- 高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。ピント誤差による測定誤差を防ぎます。
用途例
１．液晶カラーフィルタ、レジストの線幅
２．半導体ウェハ－の約1μmまでの線幅測定
３．TAB、COF、リードフレームの各部線幅測定
４．ガラスマスクの線幅測定
５．電子部品の各部測定
精度、システム構成
測定精度
対物レンズ | 映像視野（μm） | 1画素分解能（μm） | 繰返し制度3σ（μm） |
100倍 | 約70×53 | 約0.0345 | 0.01 |
50倍 | 約139×106 | 約0.069 | 0.02 |
20倍 | 約348×265 | 約0.1725 | 0.05 |
10倍 | 約696×530 | 約0.345 | 0.10 |
5倍 | 約1,391×1,060 | 約0.69 | 0.20 |
※繰返し精度はオートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。（サンプルの条件により上記と異なる場合があります）
※数値は300万画素モノクロCCDカメラMAR-300Bで測定したものです。
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。 |
|
微小線幅測定システムの資料ダウンロード
Contact
微小線幅測定システムに関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社フローベル
- 企業PR
- "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、 顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、 他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。 近年では超高感度カメラを開発し、 第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。 フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、 引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、 ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として 監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で 社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"
