粗さ測定を線から面へ。高い垂直分解能で、広い面積について面粗さを測定できます。
「光干渉方式」の採用により、垂直方向の高い分解能と広い観察範囲を同時に実現しました。「非接触表面形状計測」の他、「層断面計測」も可能です。垂直分解能0.01nm、面内分解能350nm～。
株式会社 日立ハイテク ナノ３D光干渉計測システム (VS1330)
ナノ３D光干渉計測システムの特長
１．広い観察範囲と高い垂直方向分解能
走査型プローブ顕微鏡は、高い垂直分解能を持ちますが、
観察範囲は100μm程度に限られます。
また、一般的な光学観察装置では、レンズ倍率を低くすると、
広い視野の観察が行えますが、垂直分解能は低くなります。
VS1000シリーズは光干渉方式を採用することで、レンズ
倍率に依存しない高い垂直分解能が得られます。
広い観察範囲と高い垂直方向分解能を実現させた装置です。
広い視野×ナノメートル段差
２．ISO国際標準準拠の表面粗さ測定
VS1000シリーズは、表面粗さの評価方法を定めた国際規格であるISO25178表面性状（面粗さ測定）
に準拠しています。「非接触式」と「接触式」の2つの評価方法に対応した規格です。
線粗さ測定では、測定箇所や走査方向による結果のバラツキが生じますが、「白色干渉方式」は
これらの問題が生じない評価方法とされています。
VS1000シリーズは、面での粗さ評価を容易にします。
３．非接触での層断面解析機能
透明で積層されたサンプルにおいて、断面を形成する手間を掛けずに、非破壊で断面の情報を得ること
が可能です。
レンズの高さ座標と各界面から得られた反射光を利用し、各光学界面において得られた干渉縞から、
仮想切断面としての断面画像を出力します。
透明多層膜では、表面・境界面・裏面で干渉膜が現れる プラスチックのハードコート（2層）
４．複数視野測定機能
指定された複数座標ポイントの連続自動測定やスティッチング測定または、等間隔測定を行う機能
です。（自動ステージ＋VS-Measure）任意測定ポイント最大10000ポイントまで測定可能です。
スティッチング測定の例
1視野に収まらない対象物を連続自動測定でデータを取得し、複数のデータを1枚のデータとして
画像連結を行うことで、広範囲の解析が可能になります。
◆応用例
ウェハパターン インクジェット用紙 インクジェット用紙
超光沢紙 光沢エコノミー紙
液晶フォトスペーサー ピストンヘッド表面/摩耗前 ピストンヘッド表面/摩耗後
◆仕様
VS1330
Z軸方向駆動方式 ピエゾ駆動80μm
ステージ X-Y手動ステージ（X:150mm、Y:130mm）
１．広い観察範囲と高い垂直方向分解能
走査型プローブ顕微鏡は、高い垂直分解能を持ちますが、 観察範囲は100μm程度に限られます。 また、一般的な光学観察装置では、レンズ倍率を低くすると、 広い視野の観察が行えますが、垂直分解能は低くなります。 VS1000シリーズは光干渉方式を採用することで、レンズ 倍率に依存しない高い垂直分解能が得られます。 広い観察範囲と高い垂直方向分解能を実現させた装置です。 | 広い視野×ナノメートル段差
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２．ISO国際標準準拠の表面粗さ測定
VS1000シリーズは、表面粗さの評価方法を定めた国際規格であるISO25178表面性状（面粗さ測定）
に準拠しています。「非接触式」と「接触式」の2つの評価方法に対応した規格です。
線粗さ測定では、測定箇所や走査方向による結果のバラツキが生じますが、「白色干渉方式」は
これらの問題が生じない評価方法とされています。
VS1000シリーズは、面での粗さ評価を容易にします。
３．非接触での層断面解析機能
透明で積層されたサンプルにおいて、断面を形成する手間を掛けずに、非破壊で断面の情報を得ること
が可能です。
レンズの高さ座標と各界面から得られた反射光を利用し、各光学界面において得られた干渉縞から、
仮想切断面としての断面画像を出力します。
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透明多層膜では、表面・境界面・裏面で干渉膜が現れる プラスチックのハードコート（2層）
４．複数視野測定機能
指定された複数座標ポイントの連続自動測定やスティッチング測定または、等間隔測定を行う機能
です。（自動ステージ＋VS-Measure）任意測定ポイント最大10000ポイントまで測定可能です。
スティッチング測定の例
1視野に収まらない対象物を連続自動測定でデータを取得し、複数のデータを1枚のデータとして
画像連結を行うことで、広範囲の解析が可能になります。
◆応用例
ウェハパターン インクジェット用紙 インクジェット用紙 超光沢紙 光沢エコノミー紙 |
液晶フォトスペーサー ピストンヘッド表面/摩耗前 ピストンヘッド表面/摩耗後 |
◆仕様
VS1330
Z軸方向駆動方式 ピエゾ駆動80μm
ステージ X-Y手動ステージ（X:150mm、Y:130mm）
Contact
ナノ３D光干渉計測システムに関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
- 株式会社 日立ハイテク
- 企業PR
- 高級精密理科学機器（電子光学機器・分析機器）、計測検査機器、半導体関連機器、産業機器、医用機器の製造 ・ 販売 ・ 開発研究、およびそれに附帯する製品 ・ 部品の加工委託、保守 ・ サービス、周辺機器の仕入 ・ 販売
