株式会社フローベル６インチステージ表裏位置ずれ計測システム (TOMOS-60)

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表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡。高精度、低価格化を実現。

◆6インチＸＹステージを搭載！ ◆水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！ ◆表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！ ◆±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（被写体や環境条件により異なる） ◆表裏２ｃｈオートフォーカスユニット組み合わせ可能！（オプション）

製品名: ６インチステージ表裏位置ずれ計測システム

型番: TOMOS-60

価格: お問合せ下さい

発売日: 発売中

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６インチステージ表裏位置ずれ計測システムの特長

用途

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、
貫通穴の表裏位置ずれ計測

■表裏画像の重ね合わせ表示、計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

機能

両面映像芯出し
倍率補正機能

両面映像を重ね合わせ
表示し、ずれ量を計測

マークのエッジから
中心座標を自動検出し高精度に計測が可能

６インチステージ表裏位置ずれ計測システムの資料ダウンロード

TOMOS50_60_1206.pdf
690.44 KB

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出展企業情報

企業名: 株式会社フローベル

企業PR: "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。近年では超高感度カメラを開発し、第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"